Kielektronikigesi maalumni tawi muhimu la gesi maalum. Zinapenya karibu kila kiungo cha uzalishaji wa nusu-semiconductor na ni malighafi muhimu kwa ajili ya uzalishaji wa viwanda vya kielektroniki kama vile saketi zilizounganishwa kwa kiwango kikubwa sana, vifaa vya kuonyesha paneli tambarare, na seli za jua.

Katika teknolojia ya nusu-semiconductor, gesi zenye florini hutumika sana. Hivi sasa, katika soko la gesi ya kielektroniki duniani, gesi za kielektroniki zenye florini huchangia takriban 30% ya jumla. Gesi za kielektroniki zenye florini ni sehemu muhimu ya gesi maalum za kielektroniki katika uwanja wa vifaa vya habari vya kielektroniki. Hutumika zaidi kama visafishaji na viuatilifu, na pia zinaweza kutumika kama viongeza, vifaa vya kutengeneza filamu, n.k. Katika makala haya, mwandishi atakuelekeza kuelewa gesi za kawaida zenye florini.

Zifuatazo ni gesi zenye florini zinazotumika sana

Nitrojeni trifloridi (NF3): Gesi inayotumika kusafisha na kuondoa mabaki, kwa kawaida hutumika kusafisha vyumba vya mmenyuko na nyuso za vifaa.

Heksafloridi ya salfa (SF6): Wakala wa florini unaotumika katika michakato ya uwekaji wa oksidi na kama gesi ya kuhami joto kwa ajili ya kujaza vyombo vya kuhami joto.

Fluoridi ya hidrojeni (HF): Hutumika kuondoa oksidi kutoka kwenye uso wa silikoni na kama kichocheo cha kung'oa silikoni na vifaa vingine.

Fluoridi ya nitrojeni (NF): Hutumika kung'oa vifaa kama vile nitridi ya silikoni (SiN) na nitridi ya alumini (AlN).

Trifluoromethane (CHF3) natetrafluoromethane (CF4): Hutumika kung'oa vifaa vya floridi kama vile floridi ya silicon na floridi ya alumini.

Hata hivyo, gesi zenye florini zina hatari fulani, ikiwa ni pamoja na sumu, ulikaji, na kuwaka.

Sumu

Baadhi ya gesi zenye florini ni sumu, kama vile floridi hidrojeni (HF), ambayo mvuke wake unakera sana ngozi na njia ya upumuaji na una madhara kwa afya ya binadamu.

Uharibifu

Floridi ya hidrojeni na baadhi ya floridi huharibu sana na zinaweza kusababisha uharibifu mkubwa kwa ngozi, macho na njia ya upumuaji.

Kuwaka moto

Baadhi ya floridi huweza kuwaka na hugusana na oksijeni au maji hewani ili kutoa joto kali na gesi zenye sumu, ambazo zinaweza kusababisha moto au mlipuko.

Hatari ya shinikizo kubwa

Baadhi ya gesi zenye florini hulipuka chini ya shinikizo kubwa na zinahitaji utunzaji maalum zinapotumika na kuhifadhiwa.

Athari kwa mazingira

Gesi zenye florini zina muda mrefu wa kuishi katika angahewa na thamani za GWP, ambazo zina athari mbaya kwenye safu ya ozoni ya angahewa na zinaweza kusababisha ongezeko la joto duniani na uchafuzi wa mazingira.

Matumizi ya gesi katika nyanja zinazoibuka kama vile vifaa vya elektroniki yanaendelea kuongezeka, na kuleta mahitaji makubwa mapya ya gesi za viwandani. Kwa kuzingatia kiwango kikubwa cha uwezo mpya wa uzalishaji wa vipengele vikuu vya elektroniki kama vile semiconductors na paneli za maonyesho nchini China bara katika miaka michache ijayo, pamoja na mahitaji makubwa ya uingizaji wa vifaa vya kemikali vya elektroniki, tasnia ya gesi ya elektroniki ya ndani italeta kiwango cha juu cha ukuaji.