Matumizi ya tungsten hexafluoride (WF6)

Tungsten hexafluoride (WF6) huwekwa kwenye uso wa kaki kupitia mchakato wa CVD, kujaza mitaro ya uunganisho wa chuma, na kutengeneza unganisho la chuma kati ya tabaka.

Wacha tuzungumze juu ya plasma kwanza. Plasma ni aina ya maada hasa inayoundwa na elektroni za bure na ioni za chaji. Inapatikana sana katika ulimwengu na mara nyingi inachukuliwa kuwa hali ya nne ya maada. Inaitwa hali ya plasma, pia inaitwa "Plasma". Plasma ina conductivity ya juu ya umeme na ina athari kali ya kuunganisha na uwanja wa umeme. Ni gesi iliyoainishwa kwa sehemu, inayojumuisha elektroni, ayoni, itikadi kali za bure, chembe zisizo na upande, na fotoni. Plasma yenyewe ni mchanganyiko usio na umeme unaojumuisha chembe za kimwili na kemikali.

Maelezo ya moja kwa moja ni kwamba chini ya hatua ya nishati ya juu, molekuli itashinda nguvu ya van der Waals, nguvu ya dhamana ya kemikali na nguvu ya Coulomb, na kuwasilisha aina ya umeme usio na upande kwa ujumla. Wakati huo huo, nishati ya juu inayotolewa na nje inashinda nguvu tatu hapo juu. Utendakazi, elektroni na ioni huwasilisha hali huria, ambayo inaweza kutumika kwa njia ya bandia chini ya urekebishaji wa uga wa sumaku, kama vile mchakato wa kuweka semiconductor, mchakato wa CVD, PVD na mchakato wa IMP.

Nishati ya juu ni nini? Kwa nadharia, joto la juu na la juu la mzunguko wa RF linaweza kutumika. Kwa ujumla, joto la juu ni karibu haiwezekani kufikia. Mahitaji haya ya halijoto ni ya juu sana na yanaweza kuwa karibu na halijoto ya jua. Kimsingi haiwezekani kufikia katika mchakato. Kwa hivyo, tasnia kawaida hutumia RF ya masafa ya juu kuifanikisha. Plasma RF inaweza kufikia hadi 13MHz+.

Tungsten hexafluoride ni plasmaized chini ya hatua ya shamba la umeme, na kisha mvuke-amewekwa na shamba magnetic. Atomi za W ni sawa na manyoya ya goose ya msimu wa baridi na huanguka chini chini ya hatua ya mvuto. Polepole, atomi za W huwekwa ndani ya mashimo, na hatimaye kujazwa Kamili kupitia mashimo ili kuunda miunganisho ya chuma. Mbali na kuweka atomi W kwenye mashimo, je, zitawekwa kwenye uso wa Kaki? Ndiyo, hakika. Kwa ujumla, unaweza kutumia mchakato wa W-CMP, ambayo ndio tunaita mchakato wa kusaga wa mitambo ili kuondoa. Ni sawa na kutumia ufagio kufagia sakafu baada ya theluji nzito. Theluji juu ya ardhi inafagiliwa mbali, lakini theluji kwenye shimo kwenye ardhi itabaki. Chini, takriban sawa.