Gesi maalum ya elektroniki inayotumiwa zaidi - nitrojeni trifluoride

Gesi maalum za elektroniki za kawaida ni pamoja naSulfur hexafluoride (SF6), tungsten hexafluoride (wf6),kaboni tetrafluoride (CF4), Trifluoromethane (CHF3), nitrojeni trifluoride (NF3), hexafluoroethane (C2F6) na octafluoropropane (C3F8).

Pamoja na maendeleo ya nanotechnology na maendeleo makubwa ya tasnia ya umeme, mahitaji yake yataongezeka siku kwa siku. Nitrojeni trifluoride, kama gesi ya elektroniki muhimu na kubwa inayotumiwa katika uzalishaji na usindikaji wa paneli na semiconductors, ina nafasi pana ya soko.

Kama aina ya gesi iliyo na fluorini,nitrojeni trifluoride (NF3)ni bidhaa maalum ya gesi ya elektroniki yenye uwezo mkubwa wa soko. Inaingiza kemikali kwa joto la kawaida, inafanya kazi zaidi kuliko oksijeni kwa joto la juu, thabiti zaidi kuliko fluorine, na rahisi kushughulikia. Nitrojeni trifluoride hutumiwa hasa kama gesi ya kuweka plasma na wakala wa kusafisha chumba, na inafaa kwa uwanja wa utengenezaji wa chipsi za semiconductor, maonyesho ya jopo la gorofa, nyuzi za macho, seli za Photovoltaic, nk.

Ikilinganishwa na gesi zingine zenye umeme za umeme,Nitrojeni trifluorideina faida za athari ya haraka na ufanisi mkubwa. Hasa katika etching ya vifaa vyenye silicon kama vile nitridi ya silicon, ina kiwango cha juu cha kuweka na kuchagua, bila kuacha mabaki kwenye uso wa kitu kilichowekwa. Pia ni wakala mzuri wa kusafisha na haina uchafuzi wa uso, ambao unaweza kukidhi mahitaji ya mchakato wa usindikaji.