Gesi maalum ya elektroniki inayotumiwa zaidi - trifluoride ya nitrojeni

Gesi maalum za elektroniki zilizo na florini ni pamoja nahexafluoride ya sulfuri (SF6), tungsten hexafluoride (WF6),tetrafluoridi kaboni (CF4), trifluoromethane (CHF3), trifluoride ya nitrojeni (NF3), hexafluoroethane (C2F6) na octafluoropropane (C3F8).

Pamoja na maendeleo ya nanoteknolojia na maendeleo makubwa ya sekta ya umeme, mahitaji yake yataongezeka siku kwa siku. Trifluoride ya nitrojeni, kama gesi ya elektroniki ya lazima na inayotumika zaidi katika utengenezaji na usindikaji wa paneli na halvledare, ina nafasi pana ya soko.

Kama aina ya gesi maalum iliyo na florini,trifloridi ya nitrojeni (NF3)ni bidhaa ya kielektroniki ya gesi maalum yenye uwezo mkubwa zaidi wa soko. Haipitishi kemikali kwenye joto la kawaida, inafanya kazi zaidi kuliko oksijeni kwenye joto la juu, ni thabiti zaidi kuliko florini, na ni rahisi kushughulikia. Trifluoride ya nitrojeni hutumiwa zaidi kama gesi ya kuchomeka utegili na wakala wa kusafisha chumba cha mmenyuko, na inafaa kwa uga wa utengenezaji wa chip za semiconductor, maonyesho ya paneli bapa, nyuzi za macho, seli za photovoltaic, n.k.

Ikilinganishwa na gesi zingine za elektroniki zilizo na fluorini,trifloridi ya nitrojeniina faida za mmenyuko wa haraka na ufanisi wa juu. Hasa katika utepetevu wa nyenzo zenye silicon kama vile nitridi ya silicon, ina kiwango cha juu cha uchomaji na uteuzi, bila kuacha mabaki kwenye uso wa kitu kilichowekwa. Pia ni wakala mzuri sana wa kusafisha na hauna uchafuzi wa uso, ambayo inaweza kukidhi mahitaji ya mchakato wa usindikaji.