Gesi maalum ya kielektroniki inayotumika zaidi - trifluoride ya nitrojeni

Gesi maalum za kielektroniki zenye florini ni pamoja naheksaflouridi ya salfa (SF6), tungsten hexafluoride (WF6),tetrafloridi kaboni (CF4), trifluoromethane (CHF3), trifluoride ya nitrojeni (NF3), hexafluoroethane (C2F6) na octafluoropropane (C3F8).

Kwa maendeleo ya nanoteknolojia na maendeleo makubwa ya tasnia ya vifaa vya elektroniki, mahitaji yake yataongezeka siku hadi siku. Nitrojeni trifluoride, kama gesi maalum ya kielektroniki isiyoweza kubadilishwa na inayotumika kwa ukubwa katika uzalishaji na usindikaji wa paneli na semiconductors, ina nafasi kubwa ya soko.

Kama aina ya gesi maalum yenye florini,trifloridi ya nitrojeni (NF3)ni bidhaa maalum ya gesi ya kielektroniki yenye uwezo mkubwa zaidi wa soko. Haina kemikali katika halijoto ya kawaida, inafanya kazi zaidi kuliko oksijeni katika halijoto ya juu, imara zaidi kuliko florini, na ni rahisi kushughulikia. Trifloridi ya nitrojeni hutumika zaidi kama gesi ya kung'oa plasma na wakala wa kusafisha chumba cha mmenyuko, na inafaa kwa ajili ya utengenezaji wa chipsi za semiconductor, maonyesho ya paneli tambarare, nyuzi za macho, seli za fotovoltaiki, n.k.

Ikilinganishwa na gesi zingine za kielektroniki zenye florini,trifloridi ya nitrojeniIna faida za mmenyuko wa haraka na ufanisi wa hali ya juu. Hasa katika uchongaji wa vifaa vyenye silikoni kama vile nitridi ya silikoni, ina kiwango cha juu cha uchongaji na uteuzi, bila kuacha mabaki kwenye uso wa kitu kilichochongwa. Pia ni wakala mzuri sana wa kusafisha na haina uchafuzi kwenye uso, ambao unaweza kukidhi mahitaji ya mchakato wa usindikaji.