Kiasi Kubwa Zaidi cha Gesi Maalum ya Kielektroniki - Nitrogen Trifluoride NF3

Sekta ya semiconductor ya nchi yetu na tasnia ya paneli hudumisha kiwango cha juu cha ustawi. Trifluoride ya nitrojeni, kama gesi ya elektroniki ya lazima na ya ujazo mkubwa zaidi katika utengenezaji na usindikaji wa paneli na halvledare, ina nafasi pana ya soko.

Kawaida kutumika florini-zenye gesi maalum za elektroniki ni pamoja nahexafluoride ya sulfuri (SF6), tungsten hexafluoride (WF6),tetrafluoridi kaboni (CF4), trifluoromethane (CHF3), trifluoride ya nitrojeni (NF3), hexafluoroethane (C2F6) na octafluoropropane (C3F8). Nitrojeni trifluoride (NF3) hutumiwa hasa kama chanzo cha florini kwa leza za kemikali za floridi hidrojeni-floridi zenye nishati nyingi. Sehemu ya ufanisi (takriban 25%) ya nishati ya majibu kati ya H2-O2 na F2 inaweza kutolewa kwa mionzi ya leza, kwa hivyo leza za HF-OF ndizo leza zenye kuahidi zaidi kati ya leza za kemikali.

Trifluoride ya nitrojeni ni gesi bora ya kuweka plasma katika tasnia ya elektroniki ndogo. Kwa silicon na nitridi ya silicon, trifluoride ya nitrojeni ina kiwango cha juu cha uchomaji na uteuzi kuliko tetrafloridi kaboni na mchanganyiko wa tetrafluoride kaboni na oksijeni, na haina uchafuzi wa uso. Hasa katika etching ya vifaa vya kuunganishwa vya mzunguko na unene wa chini ya 1.5um, trifluoride ya nitrojeni ina kiwango bora sana cha etching na kuchagua, bila kuacha mabaki juu ya uso wa kitu kilichowekwa, na pia ni wakala mzuri sana wa kusafisha. Pamoja na maendeleo ya nanoteknolojia na maendeleo makubwa ya sekta ya umeme, mahitaji yake yataongezeka siku kwa siku.

Kama aina ya gesi maalum iliyo na florini, trifluoride ya nitrojeni (NF3) ndio bidhaa kubwa zaidi ya gesi ya elektroniki kwenye soko. Haipitiki kemikali kwenye joto la kawaida, inafanya kazi zaidi kuliko oksijeni, ni thabiti zaidi kuliko florini, na ni rahisi kushughulikia kwenye joto la juu.

Trifluoride ya nitrojeni hutumika zaidi kama gesi ya uwekaji wa plazima na wakala wa kusafisha chemba ya athari, inafaa kwa uga wa utengenezaji kama vile chips za semicondukta, vionyesho vya paneli bapa, nyuzi za macho, seli za voltaic, n.k.

Ikilinganishwa na gesi zingine za elektroniki zilizo na florini, trifluoride ya nitrojeni ina faida za mmenyuko wa haraka na ufanisi wa hali ya juu, haswa katika uwekaji wa vifaa vyenye silicon kama vile nitridi ya silicon, ina kiwango cha juu cha uchomaji na uteuzi, bila kuacha mabaki juu ya uso wa kitu kilichowekwa, na pia ni wakala mzuri sana wa kusafisha, na inakidhi mahitaji ya usindikaji na usindikaji wa uso.