Kiasi kikubwa cha gesi maalum ya elektroniki - nitrojeni trifluoride NF3

Sekta ya semiconductor ya nchi yetu na tasnia ya jopo inadumisha kiwango cha juu cha ustawi. Nitrojeni trifluoride, kama gesi muhimu na ya kiwango kikubwa cha elektroniki katika uzalishaji na usindikaji wa paneli na semiconductors, ina nafasi pana ya soko.

Gesi maalum za umeme zinazotumiwa na fluorine ni pamoja naSulfur hexafluoride (SF6), tungsten hexafluoride (wf6),kaboni tetrafluoride (CF4), Trifluoromethane (CHF3), nitrojeni trifluoride (NF3), hexafluoroethane (C2F6) na octafluoropropane (C3F8). Nitrojeni trifluoride (NF3) hutumika sana kama chanzo cha fluorine kwa lasers ya hydrogen fluoride-fluoride gesi yenye nguvu ya kemikali. Sehemu inayofaa (karibu 25%) ya nishati ya athari kati ya H2-O2 na F2 inaweza kutolewa na mionzi ya laser, kwa hivyo HF-ya lasers ndio lasers zinazoahidi zaidi kati ya lasers za kemikali.

Nitrojeni trifluoride ni gesi bora ya kuweka plasma katika tasnia ya microelectronics. Kwa etching silicon na nitride ya silicon, nitrojeni trifluoride ina kiwango cha juu cha juu na uteuzi kuliko tetrafluoride ya kaboni na mchanganyiko wa tetrafluoride ya kaboni na oksijeni, na haina uchafuzi wa uso. Hasa katika kuorodhesha kwa vifaa vya mzunguko vilivyojumuishwa na unene wa chini ya 1.5um, nitrojeni trifluoride ina kiwango bora zaidi cha kuweka na kuchagua, bila kuacha mabaki kwenye uso wa kitu kilichowekwa, na pia ni wakala mzuri wa kusafisha. Pamoja na maendeleo ya nanotechnology na maendeleo makubwa ya tasnia ya umeme, mahitaji yake yataongezeka siku kwa siku.

Kama aina ya gesi maalum iliyo na fluorine, nitrojeni trifluoride (NF3) ndio bidhaa kubwa zaidi ya gesi ya elektroniki kwenye soko. Ni indert kemikali kwa joto la kawaida, inafanya kazi zaidi kuliko oksijeni, thabiti zaidi kuliko fluorine, na rahisi kushughulikia kwa joto la juu.

Nitrojeni trifluoride hutumiwa hasa kama gesi ya kuweka gesi na wakala wa kusafisha chumba, inayofaa kwa uwanja wa utengenezaji kama vile chips za semiconductor, maonyesho ya jopo la gorofa, nyuzi za macho, seli za Photovoltaic, nk.

Ikilinganishwa na gesi zingine zenye umeme za umeme, nitrojeni trifluoridi ina faida za athari ya haraka na ufanisi mkubwa, haswa katika utaftaji wa vifaa vyenye silicon kama vile silicon nitride, ina kiwango cha juu na cha kuchagua, kisichokuwa na mabaki ya uso, na sio sawa, bila kuwa na mawakala, na kuwa na kiwango cha juu cha uso, na kuweka kwa kiwango cha juu, na kutokuweka kwa usawa, na kwa kiwango cha juu ya uso, na kuwa na makala mahitaji ya mchakato wa usindikaji.