Kiasi Kikubwa Zaidi cha Gesi Maalum ya Kielektroniki - Nitrojeni Trifluoride NF3

Sekta ya semiconductor na paneli nchini mwetu inadumisha kiwango cha juu cha ustawi. Trifluoride ya nitrojeni, kama gesi maalum ya kielektroniki isiyoweza kuepukika na yenye ujazo mkubwa zaidi katika uzalishaji na usindikaji wa paneli na semiconductor, ina nafasi kubwa ya soko.

Gesi maalum za kielektroniki zenye florini zinazotumika sana ni pamoja naheksaflouridi ya salfa (SF6), tungsten hexafluoride (WF6),tetrafloridi kaboni (CF4), trifluoromethane (CHF3), trifluoride ya nitrojeni (NF3), hexafluoroethane (C2F6) na octafluoropropane (C3F8). Trifluoride ya nitrojeni (NF3) hutumika zaidi kama chanzo cha florini kwa leza za kemikali zenye nguvu nyingi za hidrojeni floridi-floridi. Sehemu inayofaa (karibu 25%) ya nishati ya mmenyuko kati ya H2-O2 na F2 inaweza kutolewa na mionzi ya leza, kwa hivyo leza za HF-OF ndizo leza zenye matumaini zaidi miongoni mwa leza za kemikali.

Trifloridi ya nitrojeni ni gesi bora ya kung'oa plasma katika tasnia ya vifaa vya elektroniki. Kwa ajili ya kung'oa silicon na nitridi ya silicon, trifloridi ya nitrojeni ina kiwango cha juu cha kung'oa na kuchagua kuliko tetrafloridi ya kaboni na mchanganyiko wa tetrafloridi ya kaboni na oksijeni, na haina uchafuzi wowote kwenye uso. Hasa katika kung'oa vifaa vya saketi jumuishi vyenye unene wa chini ya 1.5um, trifloridi ya nitrojeni ina kiwango bora sana cha kung'oa na kuchagua, bila kuacha mabaki kwenye uso wa kitu kilichong'oa, na pia ni wakala mzuri sana wa kusafisha. Kwa maendeleo ya nanoteknolojia na maendeleo makubwa ya tasnia ya vifaa vya elektroniki, mahitaji yake yataongezeka siku hadi siku.

Kama aina ya gesi maalum yenye florini, trifloridi ya nitrojeni (NF3) ndiyo bidhaa kubwa zaidi ya gesi maalum ya kielektroniki sokoni. Haina kemikali kwenye halijoto ya kawaida, inafanya kazi zaidi kuliko oksijeni, ni thabiti zaidi kuliko florini, na ni rahisi kushughulikia kwenye halijoto ya juu.

Trifloridi ya nitrojeni hutumika zaidi kama gesi ya kung'oa plasma na kisafishaji cha chumba cha mmenyuko, kinachofaa kwa nyanja za utengenezaji kama vile chipu za semiconductor, maonyesho ya paneli tambarare, nyuzi za macho, seli za fotovoltaiki, n.k.

Ikilinganishwa na gesi zingine za kielektroniki zenye florini, trifloridi ya nitrojeni ina faida za mmenyuko wa haraka na ufanisi mkubwa, haswa katika uchomaji wa vifaa vyenye silikoni kama vile nitridi ya silikoni, ina kiwango cha juu cha uchomaji na uteuzi, bila kuacha mabaki kwenye uso wa kitu kilichochomwa, na pia ni wakala mzuri sana wa kusafisha, na haichafui uso na inaweza kukidhi mahitaji ya mchakato wa usindikaji.