Kloridi ya haidrojenini gesi isiyo na rangi na harufu nzuri. Suluhisho lake la maji huitwa asidi ya hydrochloric, pia inajulikana kama asidi ya hydrochloric. Kloridi ya haidrojeni ni mumunyifu sana katika maji. Katika 0 ° C, kiasi 1 cha maji kinaweza kufuta takriban 500 za kloridi ya hidrojeni.

Inayo mali na sifa zifuatazo:

1. Usafi wa hali ya juu

Usafi wa daraja la elektronikikloridi ya haidrojenini ya juu sana, kawaida katika PPM au kiwango cha chini, ili kuhakikisha kuwa hakuna uchafu unaoletwa katika mchakato wa utengenezaji wa semiconductor.

2. Kutokomeza

Ni gesi ya kuingiza kemikali ambayo haiguswa na vitu vingine vingi, ambayo ni muhimu sana kuzuia uchafuzi wa vifaa na vifaa vya semiconductor.

3. Uimara wa hali ya juu

Daraja la elektronikikloridi ya haidrojeniKwa ujumla ina kemia thabiti ili kuhakikisha usindikaji wa semiconductor wa kuaminika.

Katika usindikaji wa semiconductor, matumizi kuu ya kloridi ya hydrogen ya kiwango cha elektroniki ni pamoja na:

1. Kusafisha uso na maandalizi

Kama safi ya uso, daraja la elektronikikloridi ya haidrojenihutumiwa kuondoa oksidi na uchafu kutoka kwa uso wa substrate ili kuhakikisha ubora na usafi wa safu au filamu ya epitaxial.

Misaada ya ukuaji wa 2.Epitaxial

Inatumika kama wakala wa matibabu ya uso katika mchakato wa epitaxial, inasaidia kuboresha ubora wa safu ya epitaxial, kuboresha kulinganisha kwa kimiani, na kupunguza malezi ya kasoro za kimiani.

3. Utapeli wa substrate

Kabla ya utayarishaji wa vifaa vya semiconductor, daraja la elektronikikloridi ya haidrojeniInaweza kutumiwa kutibu uso wa substrate kuunda msingi thabiti ili kuboresha wambiso kati ya safu ya epitaxial na substrate.

4. Wakala wa Msaada wa Uainishaji

Katika mchakato wa uwekaji wa kemikali ya mvuke (CVD) au uwekaji wa mvuke wa mwili (PVD), kloridi ya hydrojeni ya kiwango cha elektroniki inaweza kutumika kama njia ya kuhamisha gesi ya kati kushiriki katika athari ya utuaji wa vifaa vya semiconductor.

5. Wakala wa uhamishaji wa awamu ya gesi

Kama wakala wa uhamishaji wa awamu ya gesi, watangulizi wengine wa gaseous huletwa ndani ya chumba cha athari ili kusaidia kurekebisha kiwango cha uwekaji na usawa wa nyenzo.

Tabia hizi hufanya daraja la elektronikikloridi ya haidrojeniWakala muhimu wa usindikaji katika teknolojia ya semiconductor, ambayo ina athari muhimu kwa utendaji na kuegemea kwa kifaa cha mwisho.

Mbali na utumiaji wake katika usindikaji wa semiconductor, kloridi ya kiwango cha juu cha hydrojeni inaweza kupata matumizi anuwai katika maeneo mengine, pamoja na: utayarishaji wa vifaa vya usafi, seli za mafuta, ukuaji wa nyenzo za semiconductor, lithography ya sehemu ya mvuke, uchambuzi wa nyenzo, utafiti wa kemikali.

Kwa ujumla, daraja la elektronikikloridi ya haidrojenini gesi yenye nguvu, ya juu ambayo ina matumizi anuwai nje ya utengenezaji wa semiconductor.