Kloridi ya hidrojenini gesi isiyo na rangi na harufu kali. Suluhisho lake la maji huitwa asidi hidrokloriki, pia inajulikana kama asidi hidrokloric. Kloridi ya hidrojeni ni mumunyifu sana katika maji. Kwa 0 ° C, kiasi 1 cha maji kinaweza kufuta kiasi cha 500 cha kloridi hidrojeni.
Ina sifa na sifa zifuatazo:
1. Usafi wa hali ya juu
Usafi wa daraja la elektronikikloridi hidrojeniiko juu sana, kwa kawaida katika kiwango cha ppm au chini, ili kuhakikisha kuwa hakuna uchafu unaoletwa katika mchakato wa utengenezaji wa semiconductor.
2. Uzembe
Ni gesi ya inert ya kemikali ambayo haifanyi na vitu vingine vingi, ambayo ni muhimu sana kuzuia uchafuzi wa vifaa vya semiconductor na vifaa.
3. Utulivu wa juu
Daraja la elektronikikloridi hidrojenikwa ujumla ina kemia thabiti ili kuhakikisha usindikaji wa semiconductor unaotegemewa.
Katika usindikaji wa semiconductor, matumizi kuu ya kloridi ya hidrojeni ya daraja la elektroniki ni pamoja na:
1. Kusafisha uso na maandalizi
Kama kisafishaji bora cha uso, daraja la elektronikikloridi hidrojenihutumika kuondoa oksidi na uchafu kutoka kwenye uso wa substrate ili kuhakikisha ubora na usafi wa safu ya epitaxial au filamu.
2.Msaada wa ukuaji wa Epitaxial
Inatumika kama wakala wa matibabu ya uso katika mchakato wa epitaxial, husaidia kuboresha ubora wa safu ya epitaxial, kuboresha ulinganishaji wa kimiani, na kupunguza uundaji wa kasoro za kimiani.
3. Matayarisho ya substrate
Kabla ya maandalizi ya vifaa vya semiconductor, daraja la elektronikikloridi hidrojeniinaweza kutumika kutibu uso wa mkatetaka kuunda msingi thabiti ili kuboresha mshikamano kati ya safu ya epitaxial na substrate.
4. Wakala msaidizi wa uwekaji
Katika mchakato wa uwekaji wa mvuke wa kemikali (CVD) au uwekaji wa mvuke halisi (PVD), kloridi ya hidrojeni ya daraja la elektroniki inaweza kutumika kama njia ya kuhamisha awamu ya gesi ili kushiriki katika mmenyuko wa uwekaji wa nyenzo za semicondukta.
5. Wakala wa uhamisho wa gesi-awamu
Kama wakala wa uhamishaji wa awamu ya gesi, vitangulizi vingine vya gesi huletwa kwenye chumba cha athari ili kusaidia kurekebisha kasi ya uwekaji na usawa wa nyenzo.
Tabia hizi hufanya daraja la elektronikikloridi hidrojeniwakala muhimu wa usindikaji katika teknolojia ya semiconductor, ambayo ina athari muhimu juu ya utendaji na uaminifu wa kifaa cha mwisho.
Mbali na matumizi yake katika usindikaji wa semiconductor, kloridi ya hidrojeni ya daraja la elektroniki inaweza kupata matumizi mbalimbali katika maeneo mengine, ikiwa ni pamoja na: Maandalizi ya vifaa vya usafi wa juu, Seli za Mafuta, Ukuaji wa nyenzo za Semiconductor, Lithography ya Awamu ya Mvuke, Uchambuzi wa Nyenzo, Utafiti wa Kemikali.
Kwa ujumla, daraja la elektronikikloridi hidrojenini gesi yenye matumizi mengi, yenye usafi wa hali ya juu ambayo ina anuwai ya matumizi nje ya utengenezaji wa semiconductor.
Muda wa kutuma: Dec-17-2024