Kloridi ya hidrojenini gesi isiyo na rangi yenye harufu kali. Myeyusho wake wa maji huitwa asidi hidrokloriki, pia hujulikana kama asidi hidrokloriki. Kloridi hidrojeni huyeyuka sana katika maji. Kwa 0°C, kiasi 1 cha maji kinaweza kuyeyusha takriban ujazo 500 wa kloridi hidrojeni.

Ina sifa na sifa zifuatazo:

1. Usafi wa hali ya juu

Usafi wa daraja la kielektronikikloridi hidrojenini ya juu sana, kwa kawaida katika ppm au kiwango cha chini, ili kuhakikisha kwamba hakuna uchafu unaoingizwa katika mchakato wa utengenezaji wa semiconductor.

2. Uzembe

Ni gesi isiyotumia kemikali ambayo haiguswi na vitu vingine vingi, ambayo ni muhimu sana kuzuia uchafuzi wa vifaa na vifaa vya nusu nusu.

3. Utulivu wa hali ya juu

Daraja la kielektronikikloridi hidrojenikwa ujumla ina kemia thabiti ili kuhakikisha usindikaji wa semiconductor unaoaminika.

Katika usindikaji wa nusu-semiconductor, matumizi makuu ya kloridi hidrojeni ya daraja la kielektroniki ni pamoja na:

1. Kusafisha na kuandaa uso

Kama kisafisha uso chenye ufanisi, daraja la kielektronikikloridi hidrojenihutumika kuondoa oksidi na uchafu kutoka kwenye uso wa substrate ili kuhakikisha ubora na usafi wa safu au filamu ya epitaxial.

2. Msaada wa ukuaji wa Epitaxial

Inatumika kama wakala wa matibabu ya uso katika mchakato wa epitaxial, husaidia kuboresha ubora wa safu ya epitaxial, kuboresha ulinganishaji wa kimiani, na kupunguza uundaji wa kasoro za kimiani.

3. Matibabu ya awali ya substrate

Kabla ya maandalizi ya vifaa vya semiconductor, daraja la kielektronikikloridi hidrojeniinaweza kutumika kutibu uso wa substrate ili kuunda msingi thabiti ili kuboresha mshikamano kati ya safu ya epitaxial na substrate.

4. Wakala msaidizi wa utupaji

Katika mchakato wa uwekaji wa mvuke wa kemikali (CVD) au uwekaji wa mvuke wa kimwili (PVD), kloridi hidrojeni ya daraja la kielektroniki inaweza kutumika kama njia ya uhamishaji wa awamu ya gesi ili kushiriki katika mmenyuko wa uwekaji wa nyenzo za nusu-semiconductor.

5. Wakala wa uhamishaji wa awamu ya gesi

Kama wakala wa uhamishaji wa awamu ya gesi, vitangulizi vingine vya gesi huingizwa kwenye chumba cha mmenyuko ili kusaidia kurekebisha kiwango cha utuaji na usawa wa nyenzo.

Sifa hizi hufanya daraja la kielektronikikloridi hidrojeniwakala muhimu wa usindikaji katika teknolojia ya semiconductor, ambayo ina athari muhimu kwenye utendaji na uaminifu wa kifaa cha mwisho.

Mbali na matumizi yake katika usindikaji wa nusu-semiconductor, kloridi hidrojeni ya daraja la kielektroniki inaweza kupata matumizi mbalimbali katika maeneo mengine, ikiwa ni pamoja na: Maandalizi ya vifaa vya usafi wa hali ya juu, Seli za Mafuta, Ukuaji wa nyenzo za nusu-kondakta, Lithografia ya Awamu ya Mvuke, Uchambuzi wa Nyenzo, Utafiti wa Kemikali.

Kwa ujumla, daraja la kielektronikikloridi hidrojenini gesi inayoweza kutumika kwa njia mbalimbali na yenye usafi wa hali ya juu ambayo ina matumizi mbalimbali nje ya utengenezaji wa nusu-semiconductor.